荷蘭位于歐洲西部,國土面積不算太大,僅相當于我國的四川省。就在這樣的一個國家誕生了光刻機巨頭ASML,獨家壟斷了EUV光刻機,DUV光刻機的份額也不小。
多年來,ASML在全球半導體設備企業營收排名中位居第二,台積電、三星、英特爾等晶圓大廠都依賴它。然而,風光的背后也有一些無奈,光刻機出貨屢屢受到限制!
所謂的光刻機出貨限制,當然不是針對台積電、三星及其他地區的晶圓企業,而是針對我們中企。之前是限制EUV光刻機,因為EUV是7nm及以下高端制程必備的。
所以2018年時,中芯國際向ASML訂購了一台EUV,美方四次施壓導致未能出貨。
后來,美方修改了芯片規則,限制出售10nm及以下高端制程的技術、設備等出貨給中企,EUV依然在限制行列。這確實給我們造成了影響,不然7nm就實現量產了。
這之后,ASML雖然不能出貨EUV光刻機給中企,但DUV還可以正常出貨。DUV光刻機按說通過多次曝光,最高可以做出7nm,但那樣做良率不好保證,且成本過高。
因此,EUV光刻機推出后,台積電7nm就用EUV替代了DUV。如今,DUV光刻機對于我們來說,最多用于14nm工藝,大部分用于28nm及以上成熟制程芯片制造。
鑒于芯片限制,我們也開始注重發展成熟制程為主,中芯國際也一直在建28nm廠。
即使如此,美方依然不放心,前段時間又發布芯片限制新規,擴大限制14nm及以下制程,重點限制芯片制造設備,首先是美三大設備商應用材料、泛林集團、科磊。
然而,全球前十大半導體設備廠商中,除了3家美企,還有2家荷企和5家日企。
因此,美方還積極游說日本和荷蘭,希望他們也能夠跟隨實施這次新規,限制本國企業出貨給中企。尤其是荷蘭的ASML,美方希望能夠進一步擴大限制DUV光刻機。
美方覺得只有這樣全方位實施限制,才能達到新規的預期目的,才能對我們形成有效的封鎖壓力。然而,他們似乎并不積極,日方一直在猶豫,荷蘭直接表示不跟隨。
因為日企設備商在大陸的市場份額都不小,跟隨新規限制將影響他們的份額,表示非常擔憂,為此日方一直在觀望。而荷蘭大臣直接表示,不會照搬美方的限制新規。
ASML更是直接拒絕了美方的要求,表示限制DUV光刻機會造成全球供應鏈中斷。
然而,情況很快發生變化了,據美媒消息顯示,日本和荷蘭已經同意跟隨實施新規的出口管制。如果消息屬實的話,那麼ASML的DUV光刻機將會被限制出貨給中企。
對此,ASML總裁近日接受采訪時開始質疑,美方要求荷蘭實施的對華限制新規是否合理。由此看來,ASML總裁是真的急了。外媒評價道,ASML總裁開始「發飆」了!
ASML總裁不滿的是,限制EUV已做出了犧牲,而銷售替代技術的美企卻從中獲利。
如今,ASML來自中企的銷售額才15%左右,而美企設備供應商的一般比例為25%左右,有的甚至超過30%,他們依然能夠向中企出售最先進芯片和相應的制造設備。
然而,ASML只能出售較老的芯片制造設備,就這樣還在要求他們擴大DUV的出貨。
為此,ASML總裁才會質疑美方新規的合理性,認為那只是有利美企銷售替代技術產品等 。其實,情況就是如此,一直以來美方實施限制,美企都會優先獲得相應許可。
要知道,ASML畢竟還是一家企業,無端地讓人家不能出貨EUV給中企,已經造成了一定的損失,如今又要限制DUV,由此造成的損失誰來承擔,還得是ASML自己。
ASML雖然是光刻機巨頭,但限制DUV光刻機,等于讓人家失去大陸這個全球最大的半導體設備市場,不只是損失巨大,還有可能影響未來發展,總裁能不發飆嗎?